产品信息
一、机器特点:
①采用双气缸上下控制;下工位行程可调
②恒温设计,膜片周边扩张均匀适度;
③加热、拉伸、扩晶、固膜一次完成;
④加热温度、扩张时间、回程速度均匀可调;
⑤操作简便,单班产量大
整机采用***零部件,所用加工部件都使用**度铝合金及304不锈钢制造,确保设备的耐久性;温度控制器件采用原装宇电数显PID人工智能温控仪。
二、技术参数:
1.电压:220VAC/50Hz, 功率:600W(10寸),300W(8寸),150W(4寸,6寸)
2.工作气压:5Kg/cm2 温度范围:室温~80℃(建议55-60℃)
3.上气缸行程:300mm(10寸)250mm(8寸),200mm(4寸,6寸)
下气缸行程:75mm(可双向调节)
4.外型尺寸:10英寸 400x350x1250mm(长x宽x高) 机器重量:38Kg
8英寸 350x300x1180mm(长x宽x高) 机器重量:30Kg
4英寸,6英寸270x220x920mm(长x宽x高) 机器重量:20Kg
四、操作步骤:
1.将气压表拧入设备左侧过滤器螺孔中。插上电源,气管接头插入气源;
2.打开电源开关和温控开关,将温度设定于55℃(不同晶片膜温差异士5℃);
设置给定值:在基本显示状态下可以通过按∧,∨,<键来修改下显示窗口显示的设定温度控制值。按∨键减小数据,按∧键增加数据,可修改数值位的小数点同时闪动(如同光标)。长按并保持不放可以快速地增加/减少数值,并且速度会随小数点右移自动加快(2级速度)。而按<键则可直接移动修改数据的位置(光标),按∧或∨键可修改闪动位置的数值,操作快捷。
3.通气后上压盘自动回到**上方,按下气缸下按钮,下压盘回至**下方(反复几次下气缸动作,将上升速度调整至适合速度)
4.松开锁扣,掀起上工件板,先将扩晶环内环放于下压模上,再将粘有晶片的翻晶膜放于下工件正**,晶片朝上,将上工件板盖上,锁紧锁扣。
5.按下气缸上按钮,下压盘徐徐上升,薄膜开始向四周扩散,晶粒间隔逐渐拉大,当晶片间隔扩散至原来的2~3倍时既停止上升,将扩晶环外环圆角朝下平放在薄膜与内环正上方。
6.按上气缸按钮(始终按压)上压盘下降,将扩晶环压合后,松开按钮上压盘自动回至**上方。
7.按下气缸下按钮,下压盘下降至**下方,取出扩晶完毕的翻晶膜,修剪多余膜面,送下工序备胶固晶。
8.调节行程螺母在设备后面**下部开孔处,调节好后请紧固锁紧螺母。
9.上气缸速度调节阀在气缸上下部。下气缸速度调节阀在设备后部小方孔处。
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